GSL-1100X-III-8.5T是一款通过CE认证并采用UL标准制造的一款三温区管式炉。该管式炉配备有8.5英寸的石英管和水冷法兰,一块触摸屏控制温度和真空度,操作简洁方便。工作温度1150℃,真空度可以达到10-5 torr。该管式炉是一款理想的做退火,扩散和CVD等的实验设备。
技术参数
名称
GSL-1100X-III-8.5T
炉体结构
采用双层壳体风冷系统,工作时使得壳体表面温度<60℃。
采用高纯度氧化铝作为炉膛材料,保温性能极佳,较大限度减少热量损失。
通过触摸屏控制工作温度,真空度,水冷机组。
在炉子底部安装有水冷和高真空机组。
采用铰链式水冷法兰,操作方便简洁。
石英管尺寸
采用高纯度石英管。
尺寸:216 O.D×206 I.D×1300 L mm(8.5” O.D×8.1” I.D×51” L)。
警告:石英管是易碎品,请妥善保管。人为损坏不在保修范围内。
标准两块氧化铝纤维管堵,用于阻挡管内的热辐射(加热炉在工作时必须放入管堵)。
可选石英管堵,提高洁净度及真空度。
加热区
总加热区长度:900mm(36”)。
三个加热区:330mm+330mm+330mm(12” 每个加热区)。
恒温区长度:750mm(三个温区可设置相同的温度,误差为±2℃)。
注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数经供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系。
工作温度
工作温度:1150℃。
连续工作:200~1100℃
加热/冷却速率:10℃/min。
温度分布图
温度控制
配备一款触摸屏控制温度。
三个加热区分别设置30段升降温程序。
控温精度:±1℃。
每个温区都配备一个K型Omega原装热电偶。
真空泵系统
在炉子下配备了一个数字分子泵系统。
真空度可达10-5torr。
真空泵由触摸屏控制。
真空密封&法兰
配备一对水冷密封法兰(铰链法兰)。
左法兰配备:真空计和触摸屏控制的电磁阀(用于控制颅内气氛环境)。
右法兰配备:KF40真空接口,用于连接真空泵接口上电磁阀。
法兰外端配备一个外径1/4”的热电偶插口,用于方便进行温度校准。
炉子底部配备有一个16L/min水冷机,用于水冷法兰的供水。
可选
可以另配混气系统用于CVD实验。
额定电压
单相 AC 220V,50/60 Hz
包括AWG 8#电源线
功率
12KW(需50A空气开关)
产品尺寸
1700 L×750 W×1800 H mm
净重
250Kg
质保期
一年质保期,终生维护(不包含炉管,加热元件和密封圈)
质量认证
CE认证。
所有电器元件(输入电源大于24V)都通过了UL/MET/CSA
使用注意事项
炉管内气压不可高于0.02MPa。
由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司购买减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa使用时会更加精确安全。
当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态。炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态。
进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。
石英管的长时间使用温度<1100℃。
对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热的实验,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)。
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