GPH-DHDO含有两部分气体净化器（一个用于除氧另一个用于除水），两个净化器用1/4”不锈钢管和两个针阀连接在一起，可以与任何科晶混气系统连接。在室温下，它将气态杂质降低到ppm级。它可将99.9%纯度的惰性气体如（氮、氦、氖、氩、氪、和氙）中的H2O、O2、CO2、H2和CO以及非甲烷的烃类化合物降至< 0.1 ppm，以及可将H2中的H2O、O2、CO2降至< 0.1 ppm。此外此设备带有加热功能，可以加热到300℃对除氧除水单位进行再生，方便长期循环使用。
技术参数
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产品名称 |
惰性气体净化系统-GPH-DHDO |
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产品特点 |
输入：输入气体纯度要求：<1000 ppm（99.9%）。 输出：清除杂质至<0.1ppm （02≤0.1 ppm H20,-76℃露点温度）。 304L不锈钢罐（<10Ra EP）。 再生操作简单方便。 内置数字温度控制器和气体流量计控制。 再生后净化多达80L惰性气体。 设备需在270℃下再生（需使用5N纯度的95%N2+5%H2气体） |
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电源 |
220V 50Hz 功率：500W（加热过程中） |
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较大压力输出 |
0.5MPa |
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工作温度 |
室温-300℃ |
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气体泄漏率 |
<2×10-9 atm cc/sec He |
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温度控制器 |
控温精度±1℃ |
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较大气流 |
400ml/min |
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外形尺寸 |
445L×400W×190H mm |
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使用提示 |
您可以购买精密质子流量计，输入气体更加准确（图一）。 此系统可以和本公司所有的管式炉和CVD系统相连接（图二）
图一 图二 |
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质量认证 |
CE认证 |
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质保期 |
一年质保期，终生技术支持。 特别提示：1、耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
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