GSL-LCD是一款多路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜极大可以承重1000Lbs，所以在与本公司大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。
技术参数
|
产品名称 |
多通道质子流量计控制系统--GSL-LCD(控制面板为触摸屏） |
|||
|
视频 |
|
|||
|
功能 |
双通道 |
三通道 |
四通道 |
五通道 |
|
质子流量控制器 |
工作温度：5~45℃ 较大压力：3×106Pa 精度：±1.5%FS 重复精度：±0.2%F.S. 流量范围： 一路：1~199 SCCM 二路：1~499 SCCM 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用。 |
工作温度：5~45℃ 较大压力：3×106Pa 精度：±1.5%FS 重复精度：±0.2%F.S. 流量范围： 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~499 SCCM 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用。 |
工作温度：5~45℃ 较大压力：3×106Pa 精度：±1.5%FS 重复精度：±0.2%F.S. 流量范围： 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用。 |
工作温度：5~45℃ 较大压力：3×106Pa 精度：±1.5%FS 重复精度：±0.2%F.S. 流量范围： 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM 五-九路可按照客户要求定制。 |
|
输入电源 |
AC 220V/50Hz 单相 |
|||
|
功率 |
23W |
|||
|
PLC触摸屏 |
各通道的气路设定和查看都集中在—6”的触摸屏上。 RS485通讯接口和PC控温软件可连接到电脑上，进行远程控制。
|
|||
|
机械压力表 |
有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接。 量程：0.1~0.15MPa（0.01MPa/grid） |
|||
|
针阀 |
316不锈钢 |
|||
|
通气管道 |
内部连接管道为1/4”不锈钢管。 外部通气管道为1/4”聚四氟管。
|
|||
|
混气罐 |
Φ80×120 mm |
|||
|
截止阀及配件 |
316不锈钢针阀。 Φ1/4”不锈钢管 |
|||
|
外形尺寸 |
600L×745W×700H mm |
|||
|
质量认证 |
CE认证 |
|||
|
质保期 |
一年质保期，终身维护。 |
|||
|
相关产品 |
CVD&PECVD 管式炉
|
|||
|
免责声明 |
本站产品介绍内容（包含产品图片、产品描述、技术参数等）仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差，如果您对参数有异议，或者想了解产品详细信息，请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，公司会不定期完善和修改网站任何信息，怒不另外通知，请您见谅。 |
|||
