GSL-3F-PTFE是一款三通道防腐蚀型混气系统,气体通过的所有部分全部都是由聚四氟乙烯材料制作(阀、管道、混气罐和浮子流量计),此款设备设计专门针对于需要通入腐蚀性气体(如H2S、H2Se)的CVD实验。
技术参数
产品名称
混气系统3路浮子--GSL-3F
浮子流量计
三种不同量程的浮子流量计,控制精度4%。
A:10-100ml/min
B:16-160ml/min
C:25-250ml/min
针阀
三个有聚四氟乙烯材料制成的针阀,用来控制前面板上的气体输入、输出。
混气罐
一个1000ml的聚四氟乙烯罐安装在壳体内部。
每路气体客通入混合罐中进行混气。
接头和气管
聚四氟乙烯管,并可兼容1/4英寸管(尼龙或不锈钢)
在混气系统右侧安装三个气体进口。
两通道气体流入气体混合罐,另一个通道不通过气体混合管。
两个出口(可连接管式炉)安装在混气系统的左侧(一路混合气体和一路单独的气体)。
12”长1/4”直径的聚四氟管及快插接头。
真空针阀
采用SS304不锈钢。
安装在混气系统的右侧。
安装带刹车的转向轮
外形尺寸:600L×600W×650H mm
可选
如果您的CVD实验涉及腐蚀性气体,如硫化氢,您可购买我公司聚四氟乙烯法兰。
净重
约75kg
质保期
一年保修,终身技术支持。
特别提示:1、耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
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