产品名称

混气系统3路浮子--GSL-3F

浮子流量计

三种不同量程的浮子流量计，控制精度4%。

A:10-100ml/min

B:16-160ml/min

C:25-250ml/min

机械压力表（混气罐）

-0.1-0.15MPa

接头和气管

在混气系统右侧安装三个气体进口

两通道气体流入气体混合罐，另一个通道不通过气体混合管。

两个出口（可连接管式炉）安装在混气系统的左侧（一路混合气体和一路单独的气体）。

12”长1/4”直径的聚四氟管及快插接头。

真空针阀

采用SS304不锈钢。

安装在混气系统的右侧。

安装带刹车的转向轮

外形尺寸:600L×600W×650H   mm

可选

CVD 或者PECVD   液相气体发生器

净重

约75kg

质保期

一年保修，终身技术支持。

特别提示：1、耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

          2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

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