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小型二通道混气系统(质子流量计)GSL-2Z-LCD-S
  • 品牌: 合肥科晶
  • 型号: GSL-2Z-LCD-S
  • 产地: 合肥科晶
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产品详情

    

        GSL-2Z-LCD-S是一款小型的两通道质子流量计混气系统,PLC触摸屏控制各通道气路流量,并可实时查看流量数据及曲线,可与本公司各种管式炉、CVD、PECVD、镀膜仪等设备配套使用,实现PVD、CVD、PECVD以及热处理等实验气氛的精确控制。

技术参数

产品名称

小型二通道混气系统(质子流量计)GSL-2Z-LCD-S

基本参数

工作温度:5~45℃。

压力:0.3MPa

精度:±1.5% FS

重复精度:±0.2% F.S

流量范围:

   一路:1-99 SCCM

   二路:1-199 SCCM(其他流量范围可定制)

注意:其他流量范围的可定制,需额外费用。

输入电源

AC  220V,50/60Hz

功率

100W

PLC触摸屏

各通道的气路设定和查看都集中在一触摸屏上


混气罐

内置一个不锈钢混气罐,可以良好的混气。

机械压力表

有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接。

量程:-.01~0.12MPa

针阀

316不锈钢

通气管道

内部连接管道为1/4 不锈钢管。

外部通气管为1/4聚四氟管。

外形尺寸

360L×300D×190H  mm


产品重量

8.4Kg

质量认证

CE认证

质保期

一年质保期,终生维护。

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CVD&PECVD管式炉

   

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