GSL-2Z-LCD-S是一款小型的两通道质子流量计混气系统,PLC触摸屏控制各通道气路流量,并可实时查看流量数据及曲线,可与本公司各种管式炉、CVD、PECVD、镀膜仪等设备配套使用,实现PVD、CVD、PECVD以及热处理等实验气氛的精确控制。
技术参数
产品名称
小型二通道混气系统(质子流量计)GSL-2Z-LCD-S
基本参数
工作温度:5~45℃。
压力:0.3MPa。
精度:±1.5% FS
重复精度:±0.2% F.S。
流量范围:
一路:1-99 SCCM
二路:1-199 SCCM(其他流量范围可定制)
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用。
输入电源
AC 220V,50/60Hz
功率
100W
PLC触摸屏
各通道的气路设定和查看都集中在一触摸屏上
混气罐
内置一个不锈钢混气罐,可以良好的混气。
机械压力表
有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接。
量程:-.01~0.12MPa
针阀
316不锈钢
通气管道
内部连接管道为1/4” 不锈钢管。
外部通气管为1/4”聚四氟管。
外形尺寸
360L×300D×190H mm
产品重量
8.4Kg
质量认证
CE认证
质保期
一年质保期,终生维护。
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