OTF-1200X-5S是一款CE认证的小型开启式管式炉，其工作温度可以达到1200℃。炉管Φ130mm(或100mm)的高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰，可在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统，可设置30段升降温程序，控温精度为+/- 1℃。此款管式炉至多可对4英寸的晶片进行退火。
技术参数
名称
1200℃小型单温区大口径开启式管式炉--OTF-1200X-5S
产品提示
主要特点
5英寸的石英管和铰链法兰，宽大的腔体可作为箱式气氛炉用（避免了箱式炉炉膛污染问题）。
可用于四英寸基片退火。
可以作为模块，DIY ALD CVD PVD蒸发炉 回转炉等（具体请致电）
采用高纯氧化铝纤维材料作为炉膛材料，并且表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率。
采用ABB电器元件。
基本参数
工作温度：1100℃（<0.5小时）
连续工作温度：1000℃
建议加热速率：≤10℃/min
加热区长度：300mm 加热元件：掺钼铁铬铝合金
功率：3KW
电压：AC220V 50Hz
炉体结构
配有一对不锈钢密封法兰，采用硅胶密封圈密封。
石英管口径可选：130mm或100mm。
配有2个氧化铝管堵，使用设备时应放在炉管两端，保证恒温区和法兰密性。
右端法兰为KF25接口，用于连接真空泵。
真空度：10-2torr（采用机械泵）。
安装有一机械压力表，测量范围为0.1~0.15MPa。
采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序。
带有超温和断偶保护。
配置可选
可选购5英寸的水冷铰链法兰，并带有支撑架
备注：铰链法兰
可选购数显防腐真空计
可选购石英管堵，提高炉管内的洁净度和帮助获得高真空
您可能需要在真空端部安装一个手动挡板阀
可选购铠装K型热电偶，通过法兰的铠装孔伸入到炉管内部，测量样品的实际温度
可选购欧陆型温控仪表，控温精确度可以提升到±0.1℃
您可以订购带真空泵和温度校准套件的炉子
可选购MTS02-B控温模快，可用电脑设置和显示温度程序
外形尺寸
炉盖关闭尺寸：440mm（长）×440(宽)×460(高) mm。
带法兰支撑（每个260mm）,总长：960mm(长)×440mm(宽)×460mm（高）。
炉盖打开尺寸：440mm(长)×440mm（宽）×700mm（高）。
带法兰支撑（每个260mm）,总长：960mm（长）×650mm（宽）×700mm（高）。
温度控制器单位：260mm(长)×350mm（宽）×410mm（高）。
净重;48Kg。
实验室参考案例
科晶实验室用此设备做出的部分结果，以供您参考。
以下数据针对合肥科晶设备，不具有普遍性。如果您想了解详细试验方法，请联系科晶实验索取详细实验报告。
硅钢退火
Nb205粉（未处理前）Nb205粉（处理后）
热处理硅片
备注：以上数据仅供参考，更多数据请联系科晶实验室
可以吧法兰对着操作者，作为箱式炉使用。
由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa，使用时会更加精确安全。
当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。
进气炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。
石英管的长时间使用温度<1100℃。
警示
不要将装有溶液的容器放在仪器上，防止造成一起短路。
如需高温取样，请务必穿戴好安全装置。
炉管内气压不可高于0.02MPa。
对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，者需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻到泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。
质量认证
所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/ CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。
质保期
一年保修，终身技术支持。
特别提示：
1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
3.我们享有自主升级改造该炉子构造的权利，努不另外通知。
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